积体电制造股份有限公司29日表示，经审慎评估后，本公司拟投资兴建的3纳米先进制程新厂，将择定于南部科学工业园区台南园区，以持续充分发挥本公司在该园区既有的完整聚落与供应链优势。台积电对于明确承诺解决包含土地、用水、供电、环保等相关议题表示肯定与感谢。
据设备业者分析，台积电的制程推进仍依着摩尔定律前进，推算3纳米量产的时间点应该是在2022年左右，新厂将大量采用极紫外光(EUV)微影技术，因此推估总投资金额将超过200亿美元(约折合新台币6000亿元)，将是科技业有史以来最大投资案。
鸿海集团宣布在美国威斯康星州投资100亿美元(约3000亿元台币)，为产业投下震撼弹，华邦电于大厂出走传闻甚嚣尘上。数日前，华邦电子宣布将在竹的南科高雄园区，设立12寸晶圆厂，总投资金额高达新台币3350亿元，深感欣慰，认为此举意义重大。
赖清德在接受质询时说，感谢张忠谋的支持，将台积电未来最重要3纳米厂设立于，再加上DRAM大厂华邦电子，日前也宣布将于南科高雄园区设12吋晶圆厂，总投资金额高达3,350亿元，这两家具有指标性的公司，能带动其他企业投资。
台积电3纳米投资，堪称登上全球半导体霸主的最关键投资，若不协助解决相关环评等变数，台积电供应链忧心，一旦此投资案真选定美国，台积电后续投资将会往移动，也让好不容易建立的半导体产业链，影响重大。
陈清文表示，2015年台积电附加价值台币6326亿元，对P贡献度达3.8%，如以台积电附加价值占半导体50%来概估，则半导体产业对P的贡献度约8%。去年台积电附加价值成长720亿元，对P贡献0.43%，而P成长率0.85%，台积电对经济成长的贡献度高达一半。今年经济成长约1%，台积电营收成长11%，它对经济成长率的贡献度更将超过一半。
中国半导体产业协会理事长卢超群也做过分析，2016年仅台积电一家企业就占半导体产业产值的39%，净日均利润高达9亿元新台币，台积电的P收入了占了整个P的3.6%，股票市值占了整个台股的17%。
此前报道也曾披露，台积电3nm工厂总投资可能突破1100亿人民币，这个工厂后续也将带来蔚为可观的产业链长尾经济影响。因为一旦台积电在当地设厂，必将引起产业链供应商集群效应，这势必带来惊人的经济效益。
根据息显示，为了押宝订单，在台积电留台消息还未公布，包括材料的日立化成、富士纺到设备的应材、汉民微测、科林到制程的村田机械乃至于提供零件清洗及测试服务的昆腾等外商纷纷先后决定在台南建立新厂。
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